因制程工艺的需求，某些工艺会对局部环境要求较高，往往高于洁净室本身的洁净度，在此情况下EFU就发挥着重要的作用。EFU广泛应用于制程设备（EQ），STK,OHCV等特殊环境下
特点：
1、箱体采用特殊的导风结构设计使之设备内部气流更均匀
2、设备整体结构合理、轻便，易于安装和维护
3、采用性能稳定的直流无刷风机&交流风机，可持续稳定运行10000H
4、超薄的箱体设计可适用于更狭小的环境内
5、控制更精细，达到对特殊要求环境的微控制
6、箱体结构牢固，震动小，减小对制程设备及其它设备的影响
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EFU（设备类FFU）
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型号
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2′x 4′
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4′x 4′
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2′x 4′
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4′x 4′
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FFU尺寸(mm)
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575x1175x115
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575x1175x115
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575x1175x115
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575x1175x115
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风量
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8-11CMM
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15-27CMM
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8-11CMM
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15-27CMM
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噪音
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48-52DB
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48-56DB
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48-52DB
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48-56DB
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消耗功率
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115W
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230W
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69W
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140W
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机组全压(max)
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125pa
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125pa
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125pa
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125pa
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重量
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15KG
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20KG
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16KG
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22KG
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材质
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钢板烤漆、镀铝锌板、不锈钢板
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滤材材质
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玻璃纤维、PTFE
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电源
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AC 1∅ 220V 50/60Hz
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叶轮材质
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铝叶轮
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过滤功效
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HEPA 0.3um 99.995%、ULPA 0.12um 99.9995%
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控制方式
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交流：单控单段、三段调速; 直流：群控无极调速群控无极调速
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工作状态
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电源指示、运行、故障指示
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培林寿命
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100000H
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电机保护
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电机过载、过热保护
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培林寿命
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100000H
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电机保护
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电机过载、过热保护
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