由于施工及FAB内使用胶类、化学试剂种类繁多，固无尘室内VOC及AMC含量较高，一些VOC及AMC会对产品质量造成严重损坏，所以在无尘室正式管控前及生产过程中需将空气中的VOC及AMC有效的祛除，才能保证产品的合格性及工作人员的人身安全。

AMC和VOC的来源

1、外气污染：工业废气，交通废气及其他污染物（NH3,H2S,NOX SO2）

2、内部污染：无尘室建材所产生的OUT-GASSING（涂料、库板、工程胶、粘合剂、清洁试剂）；制程几台的废气及化学试剂的暴露挥发以及泄漏；

AMC和VOC祛除方式：

1、吸附－污染物与吸附体间的物理作用力。活性碳Silica Gel,

2、反应－污染物与吸附体间产生化学反应产生不挥发性物质。活性碳、活性铝为基材化学吸附剂-改性活性碳,离子交换树脂,活性氧化铝,

3、一些小分子化学物质如HF、NH4+ 等离子,活性碳几乎没有办法处理必须使用改性活性碳,离子交换树酯。

4、改性活性碳是一种反应型

酸性－约含 10%磷酸，醋酸，处理碱性气体

碱性－约含 5 – 10% 氢氧化钾，处理酸性气体

影响活性碳因素

活性碳的颗粒大小（比表面积）

湿度

灰份

污染物本身的化学物质

影响吸附值的因子不一定会影响反应型

化学过滤器产品特点：

1、高初始效率（＞90%）；低压损

2、高吸附寿命

3、不产尘无out-gassing

4、快速祛除VOC及AMC

注：因其化学过滤器的特殊性；特殊尺寸及要求请咨询我司业务人员

祛除酸效率曲线图