ISO14644-1 洁净室及相关控制环境国际标准

第1部分：空气洁净度的分级

1 范围 

ISO 14644的本部分是根据空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度的等级。只有在0.1μm-5μm的阈值（低于阈值）粒径范围内呈累积分布的粒子群体才可供分级用。 

ISO 14644的本部分不包含0.1μm-5μm规定粒径范围以外的粒子群体的分级。超微粒子（＜0.1μm ）和大粒子（＞5μm）可分别以U描述符和M描述符来量化粒子群体。

 ISO 14644的本部分不能用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性或生存性。

注  粒径遵纪守法增范围内粒子浓度的实际分布情况通常是不可预测的，并且是随着时间而变化的。 

2 定义     

下述定义适用于ISO 14644的本部分

2.1 通则

 2.  1.  1 洁净室:空气悬浮粒子浓度受控的房间、房间的建设和使用方式要尽可能减少室内引入、产生和滞留粒子，室内其它相关参数如温度、湿度和压力按要求进行控制。

 2.  1.  2 洁净区:悬浮粒子浓度受控的限定空间。空间的建设和使用方式要尽可能减少区内引入、产生和滞留粒子，空间内其它相关参数如温度、湿度和压力按要求进行控制。  注：该区可以是开放式或是密闭式，可以位于或不位于洁净室内。 

2.  1.  3 设施:洁净室或一个或多个洁净区，连同所有相关的构筑物、空气处理系统、动力和公用设施。 

2.  1.  4 分级:适用于一个的悬浮粒子洁净度等级（或规定或确定该等级的过程），以ISO等级N来表示，它表示所考虑的粒径的最大允许浓度（以pc/m3 空气计）。 

注1  此浓度用3.2中的公式（1）确定。 

注2  按照本国际标准进行分级，限定在ISO 1级至ISO 9级。   

 注3   适用于按本国际标准分级的粒径（低阈值）范围限于0.1μm-5μm。分级范围之外 的阈值粒径之空气 洁净度可以用U或M描述符（见2.3.1或2.3.2）来说明和规定（但不是分级）。    

注4   ISO 分级可以规定中间等级号，用最小允许递增值0.1，规定为自ISO 1.1至8.9 级。    

注5   等级可以按3种占用状态（见2.4）规定或实现。

2.2  悬浮粒子

 2.  2.  1 粒子:用于空气洁净度分级的固体或液体物，其粒径阈值（低限）范围在0.1μm-5μm，并呈累积分布。

2.  2.  2 粒径:由给定的粒径测定仪响应出（与被测粒子作出的响应当量）的球体的直径。    注  离散粒子计数和光散射仪器使用当量光学直径。

2.  2.  3 粒子浓度:单位体积空气中的单个粒子数。

2.  2.  4 粒径分布:作为粒径函数的粒子浓度之累积分布。

2.  2.  5 超微粒子:当量直径小于0.1μm的粒子。

2.  2.  6 大粒子:当量直径大于5μm的粒子

2.  2.  7 纤维:长宽比等于或大于10的粒子。

2.3   描述符 

2.  3.  1 U描述符:测得或规定的粒子浓度，即含超微粒子的浓度以pc/m3空气计.    注  U描述符可认为是采样点平均值的上限（或置信上限，取决于用于确定洁净室或洁净区特性的采样点数目）不能用U描述符来定义且悬浮粒子洁净度等级，但可以单独引用或与悬浮粒子洁净度等级一起引用。 

2.  3.  2M描述符:测得或规定的每m3空气中大粒子的浓度，以作为所用测试方法特性的当量直径来表示。   

注  M描述符可认为是采样点平均值的上限（或置信上限，取决于用于确定洁净室或洁净区特性的采样点数目）不能用M描述符来定义悬浮粒子洁净度等级，但可以单独引用或与悬浮粒子洁净度等级一起引用。

2.4   占用状态 

2.  4.  1空态:设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料或人员在场。 2.  4.  2静态:设施已经建成，生产设备已经安装好，并以用户和供应商同意的方式运行，但没有人员在场。 

2.  4.  3动态:设施以规定的方式运行，有规定数目的人员在场，并以双方同意的方式进行工作。 

表1   洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级